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威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BPS 15000PSIS

簡要描述:威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BPS 15000PSIS
根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底,敏感層為非硅材料,是當前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),因而要同時制作加熱元件和溫度探測元件,以監(jiān)測和控制溫度。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和

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  • 更新時間:2024-05-06
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威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BPS 15000PSIS憑著微機電在體積和功耗上的突破,新技術(shù)MEMS Drive類似一張貼在圖像傳感器背面的平面馬達,帶動圖像傳感器在三個旋轉(zhuǎn)軸移動。MEMS Drive 的防抖技術(shù)是透過陀螺儀感知拍照過程中的瞬間抖動,依靠精密算法,計算出馬達應(yīng)做的移動幅度并做出快速補償。這一系列動作都要在百分之一秒內(nèi)做完,你得到的圖像才不會因為抖動模糊掉。手機拍照帶給我們隨時隨地的便捷,但是面對復(fù)雜的環(huán)境、多樣的拍照場景,人手拍照有無法避免的抖動,像是走著跑著躺著拍照,或者把手伸長、手握自拍桿自拍,無論哪種抖動,憑借MEMS DRIVE馬達有的五軸防抖,和快速、精準控制的技術(shù)優(yōu)勢,都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖片

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1、微機械壓力傳感器

微機械壓力傳感器是最早開始研制的微機械產(chǎn)品,也是微機械技術(shù)中成熟、最早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號檢測方式來看,微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類,分別以體微機械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看,有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達0.05%~0.01%,年穩(wěn)定性達0.1%/F.S,溫度誤差為0.0002%,耐壓可達幾百兆帕,過壓保護范圍可達傳感器量程的20倍以上,并能進行大范圍下的全溫補償?,F(xiàn)階段微機械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個方面。

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2、微加速度傳感器

硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個進入市場的微機械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中具有吸引力的是力平衡加速度計,其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報道的AGXL50型。

國內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作,如西安電子科技大學研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵、壓阻電橋檢測的方式,其敏感結(jié)構(gòu)為高度對稱的4角支撐質(zhì)量塊形式,在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個諧振梁用于信號檢測。

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3、微機械陀螺

角速度一般是用陀螺儀來進行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度的。這種陀螺儀的精度很高,但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,使用壽命短,成本高,一般僅用于導航方面,而難以在一般的運動控制系統(tǒng)中應(yīng)用。實際上,如果不是受成本限制,角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機的穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)用儀器、軍事儀器、運動機械、計算機慣性鼠標、軍事等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見的微機械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu),懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是,實現(xiàn)的微機械陀螺的精度還不到10°/h,離慣性導航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠。

4、微流量傳感器

微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達到很低的測量量級,而且死區(qū)容量小,響應(yīng)時間短,適合于微流體的精密測量和控制。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導式和熱飛行時間式)、機械式和諧振式3種。清華大學精密儀器系設(shè)計的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的氣體流量下,線性度優(yōu)于5%。

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